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產(chǎn)品分類???

Product

S-3400N掃描電子顯微鏡

更新:2016/10/24 15:11:32??????點(diǎn)擊:
  • 品牌:???日立電子
  • 型號(hào):???S-3400N
產(chǎn)品介紹

S--3400N掃描電子顯微鏡

S-3400N具有最新開(kāi)發(fā)的電子光學(xué)系統(tǒng),強(qiáng)大的自動(dòng)化功能,操作更簡(jiǎn)易。

 

特點(diǎn):

 

1. S-3400N具有強(qiáng)大的自動(dòng)功能,包括自動(dòng)燈絲飽和、4偏壓、自動(dòng)槍對(duì)中、自動(dòng)束流設(shè)定、
自動(dòng)合軸自動(dòng)聚焦和消像散、自動(dòng)亮度對(duì)比度等。

 

2. 在3kV低加速電壓時(shí)保證有10nm的分辨率。

 

3. 新型5分割高靈敏半導(dǎo)體式背散射探頭。

 

4. S-3400N II型具有五軸馬達(dá)臺(tái),傾斜角度可達(dá)-20度~+90度,樣品最高可達(dá)80mm。

 

5. 分析樣品倉(cāng)可以同時(shí)安裝EDX , WDX 及EBSD。

 

6. 真空系統(tǒng)使用渦輪分子泵,潔凈、高效。

 

技術(shù)指標(biāo):

項(xiàng)目 描述
SE分辨率 3.0nm (30kV),高真空模式 
10nm (3kV), 高真空模式
BSE分辨率 4.0nm (30kV),低真空模式
放大倍率 x5 ~ x300,000
加速電壓 0.3 ~ 30 kV
低真空范圍 6 ~ 270 Pa
最大樣品尺寸 直徑200mm
樣品臺(tái) I型 II型
X 0 ~ 80mm 0 ~ 100mm
Y 0 ~ 40mm 0 ~ 50mm
Z 5 ~ 35mm 5 ~ 65mm
R 360o 360o
T -20o~ +90o -20o ~ +90o
最大樣品高度 35mm (WD=10mm) 80mm (WD=10mm)
驅(qū)動(dòng)類型 手動(dòng) 五軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
燈絲 預(yù)對(duì)中鎢燈絲
物鏡光欄 可移動(dòng)式4孔物鏡光欄
槍偏壓 固定比例偏壓、手動(dòng)偏壓和自動(dòng)4偏
檢測(cè)器 二次電子檢測(cè)器
高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器
分析位置 WD=10mm, TOA=35o
控制 鼠標(biāo)、鍵盤,手動(dòng)旋鈕
自動(dòng)調(diào)校 自動(dòng)燈絲飽和、自動(dòng)4偏壓、自動(dòng)槍對(duì)中、自動(dòng)束流設(shè)定、自動(dòng)合軸、自動(dòng)聚焦 
消像散、自動(dòng)亮度對(duì)比度